01 项目背景

                              该企业深耕大直径刻蚀单晶硅材料、硅电极精密零部件研发生产，具备晶体生长至成品加工完整

                              制造能力，产品广泛应用于 12 英寸等离子刻蚀设备，是国内半导体核心耗材国产化标杆企业。

                              半导体精密制造对压缩空气洁净度、供气稳定性、连续运行可靠性存在极致严苛标准，微量油雾、

                              压力波动均会造成晶圆、硅零部件表面污染，直接影响产品良率与工艺稳定性，因此产线工艺气源

                              必须满足 ISO8573-1 CLASS 0 零级无油标准。

                             02 产品概述及核心特点

                              针对该企业洁净车间、硅材料清洗、精密加工、气动驱动、制氮前置气源等多场景工况，

                              德蒙匹配交付DMWV-110G 干式无油永磁变频螺杆空压机专项解决方案，核心设备具备

                              多重行业适配优势

                             全机身稳定结构，适配精密车间环境

                             主机采用高强度耐磨防腐转子涂层，干式压缩腔无润滑油接触，大幅降低磨损损耗，延长主机

                             使用寿命；整机关键承压管路统一采用 304 不锈钢材质，耐水汽、耐腐蚀，长期运行不易锈蚀

                             渗漏；整机结构经过工业耐久工况实测，可稳定承载 7×24 小时不间断满负荷运转，压力控制精准，

                             供气持续平稳，杜绝因设备衰减带来的工艺波动。

                             Class 0 零级无油气源，杜绝制程污染

                             德蒙DMWV-110G属于DMWV-G系列干式无油永磁变频螺杆空压机，全系列通过TUV CLASSA 0

                             无油认证权威认证，

                             干式压缩腔与润滑系统完全隔离，转子采用高强度耐磨防腐专用涂层，压缩空气含油量≤0.01mg/m³，

                             从源头消除油分子污染风险，完全匹配半导体洁净厂房 CDA 工艺用气硬性要求，保障高端硅零部件

                             成品良率稳定可控。

                              永磁同步电机，长期降本节能

                              搭载 IE5 永磁同步电机与矢量变频控制系统，依据产线用气负荷动态调节排气量，相比传统

                              工频空压机综合节能 25% 以上；24 小时不间断连续运行工况下压力波动控制精度优异，

                              适配半导体工厂全年稳定生产需求，大幅降低厂区空压站综合运营能耗成本。

                                03 售后服务与技术支持

                                德蒙的服务不是卖出一台机器就结束了，而是不间断的售后保障：

                                原厂安装调试

                                由德蒙授权工程师团队完成设备就位、对中校准、电气接线及系统联调，出具调试报告

                                24小时响应机制

                                全国服务网络覆盖，故障报修后工程师2小时内远程诊断，24小时内到达现场。

                                预防性维保

                                提供年度/半年度/季度维保，含易损件更换、转子涂层检测、振动频谱分析、润滑油品

                                分析（齿轮箱）等服务。

                            德蒙压缩机咨询服务热线：400-9611-676